废硅料按其来源有两类：一类是新废硅料，它是硅料工业生产过程中产生的废料。另一类是旧废硅料，它是使用后被废弃的物品。硅料和硅料基材料，不论处于裸露状态，还是被包在最终产品里，在产品寿命周期的各个阶段都可回收再生。一般来说，用于再生的废硅料中新废硅料占一半以上。
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